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金相显微镜
BX-101A电子行业专用显微镜
- 产地:中国
- 上架时间:12-06-13 13:55
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产品描述:
BX-101A电子行业专用显微镜
产品简介:
大平台正置显微镜专为微电子行业量身定做,使用于硅、砷化镓,磷化铟等基片6“8”盘的生产工艺检查;可以方便的快移和精确的位移检查;也可以使用其它需较大面积标本的工艺检查。
技术参数:
1
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平场目镜:
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大视野WF10X(ф18mm)
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2
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平场消色差物镜:
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长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL 5X/0.12
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L10X/0.25
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L20X/0.40
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L40X/0.60
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L60X/0.80
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3
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转换器:
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五孔 (外向式滚珠内定位) Quintuple(Frontward ball bearing inner locating)
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4
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总放大倍数:
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50X-600X
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5
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观察头:
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三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)
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6
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粗微调调焦范围:
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载物台升降,粗微动同轴调焦, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置
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7
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载物台尺寸:
BX-101/101A
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三层机械移动式尺寸: 250mmX230mm,移动范围: 154mmX154mm
三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm
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8
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移动范围:
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15x15mm 游标格值0.1mm
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9
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照 明:
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亮度可调 6V20W 卤素灯 落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃
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