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扫描电镜
VEGA 3 SBU-EasyProbe可变真空电镜及能谱一体化系统
- 产地：中国
- 上架时间：12-04-28 16:43
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产品描述：
TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市，作为全球范围内的科学仪器制造商，TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品，为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。
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分辨率
高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) |
3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)
3.5nm(30kV)
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工作真空
高真空 低真空 |
＜9×10-3Pa
3-500Pa（可选配2000Pa）
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电子光学工作模式
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分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
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放大倍率
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4.5x-1,000,000x
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加速电压
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200V至30KV
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电子枪
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钨灯丝
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探针电流
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1pA至2μA
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扫描速度
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从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
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聚焦窗口
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形状、尺寸和位置连续可调
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扫描特性
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动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
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图象尺寸
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最大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。
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显微镜控制
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通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
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自动程序
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实时电子束追踪优化，束斑直径优化放大倍数，聚焦&消象散，对比度&亮度，扫描速度（根据信噪比），灯丝饱和调整，电子枪对中，光阑&透镜对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度等级调整
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远程控制
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通过TCP/IP
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样品室
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内部尺寸
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Φ160mm
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门宽
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120mm
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接口数量
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10
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样品室减振方式
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机械减震
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样品载台
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类型
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3轴马达控制
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移动范围 |
X=45mm —— 马达控制
Y=45mm —— 马达控制
Z=27mm —— 手动控制
Z'=6mm——手动控制
旋转：360°连续可调——马达驱动
倾斜：-90°到+90°——手动驱动
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样品高度
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最大36mm
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软件
标配：测量软件， 定位软件，图象处理，三维扫描，硬度测量，多图校正，投影面积，打印放大倍率，关机定时器，公差测量
选配：形态学，颗粒度分析，自动抓图，图象观测，电子束写入，鼠标连接