< 所有产品分类
扫描电镜
CX-200系列扫描电镜
- 产地：中国
- 上架时间：12-05-02 16:23
- 产品描述
- 技术参数
- 技术文档
- 相关产品
- 如何购买
产品描述：
CX-200TA型全自动扫描电镜：涡轮分子泵+自动台
CX-200DA型全自动扫描电镜：油扩散泵+自动台
CX-200TM型半自动扫描电镜：涡轮分子泵+手动台
CX-200DM型半自动扫描电镜：油扩散泵+手动台
“由于扩散泵对于真空环境的污染，造成仪器性能减退显著，需要提高3倍以上维护频率，对于大多数用户来说，是不愿意接受的；另外真空环境污染造成样品在高倍观察时，产生碳沉积，影响图像分辨率。因此从科学发展角度，从市场用户的实际需要出发，COXEM暂不对外出售CX-200D系列产品。”
具有世界一流技术水平的CX-200系列高性能大型钨灯丝扫描电镜，适合多种需求类型的客户选购。
在选购时，您唯一需要考虑的问题，工作效率：
扫描电镜优劣评价标准，是扫描电镜的工作效率高低（这个标准是DEMA驰奔定义），仪器客观的工作效率是由仪器的软硬件决定的，当基本的功能指标都相同或者相似，其中对效率影响最大的两个因素，是真空系统的清洁程度和样品台的自动化程度。CX-200系列四个标准型号扫描电镜根据以上两个重要因素，进行组合而成。
驰奔对扫描电镜工作效率简单分析如下：
1、搜索样品感兴趣点的速度，样品台自动化程度越高，效率越高。计算机导航坐标定位马达驱动系统要优于单纯的马达驱动，马达驱动要优于手动。对于样品全面分析检测，统计特征点，自动台体现高效率。当然如果您的样品放进去，只是选择一两个区域来照相，自动台意义不大。
2、高质量图像获得的效率：电子光学系统的自动化，或者更高的性能来提高效率。如热场发射扫描电镜看2万倍，可以在2TV扫描速度下，清晰成像，而钨灯丝大型扫描电镜看2万倍图像，要清晰成像，光保存一帧图像需要20秒以上，还不要说调整电子光学参数的功夫，如果不明就里，拿过来两个图像来比较，可能很难分出伯仲，因此有的人会说，在2万倍水平上，钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜区别不大，这个前提就是忽略客户的效率需求，比如工厂做晶圆上的芯片检测，这里边就有了效率需要，虽然一般检测可能只看2万倍，但对效率提出很苛刻的要求，钨灯丝根本不能胜任。
3、系统真空获得的效率：涡轮分子泵相对扩散泵具有明显优势。
3.1、众所周知，涡轮分子泵可随时开关机，油扩散泵开关机受到泵油升温和冷却的限制（开关机一个来回至少要等50分钟），因此要么就开一天，要么一开就至少半天，半天如果只需要做一个小样，照一张照片，那效率就更低了；除非扩散泵长期不关机，例如2-3个月，真空泵总保持启动，那么效率还是很高的，这需要特殊照顾。
3.2、真空洁净度对效率影响：涡轮分子泵真空洁净度远远优于油扩散泵。泵油蒸汽分子，在电子束作用下分解为碳氢化物，污染样品和末级光阑。电子束扫描样品时，会被电子束诱导沉积到正在观察的样品区域表面，越高倍，沉积速度越快，污染降低se产额，从而降低成像分辨率；末级光阑在电子束作用下，最容易沉积污染物，污染的随机变化，在高倍引起的象散需要随时进行校正。往往高倍需要逐级消象散，在一个区域调节电镜参数到最佳，然后迅速电位移到就近区域扫描存储图像，这降低操作效率
3.3、也同样是污染的原因，扩散泵真空系统扫描电镜需要的维护周期要短得多，一般建议3个月维护一次，而同样工作条件，涡轮分子泵真空系统的一般建议是1年维护一次。
综上所述：在一次操作周期内对效率影响最大的因素，自动化程度越高，效率越高。应该是样品台的自动化程度和真空洁净程度；电子光学性能需要定位，5000倍以下，不明显，5000倍以上就显示高分辨和自动化的优势。
CX-200DA型全自动扫描电镜：油扩散泵+自动台
CX-200TM型半自动扫描电镜：涡轮分子泵+手动台
CX-200DM型半自动扫描电镜：油扩散泵+手动台
“由于扩散泵对于真空环境的污染，造成仪器性能减退显著，需要提高3倍以上维护频率，对于大多数用户来说，是不愿意接受的；另外真空环境污染造成样品在高倍观察时，产生碳沉积，影响图像分辨率。因此从科学发展角度，从市场用户的实际需要出发，COXEM暂不对外出售CX-200D系列产品。”
具有世界一流技术水平的CX-200系列高性能大型钨灯丝扫描电镜，适合多种需求类型的客户选购。
在选购时，您唯一需要考虑的问题，工作效率：
扫描电镜优劣评价标准，是扫描电镜的工作效率高低（这个标准是DEMA驰奔定义），仪器客观的工作效率是由仪器的软硬件决定的，当基本的功能指标都相同或者相似，其中对效率影响最大的两个因素，是真空系统的清洁程度和样品台的自动化程度。CX-200系列四个标准型号扫描电镜根据以上两个重要因素，进行组合而成。
驰奔对扫描电镜工作效率简单分析如下：
1、搜索样品感兴趣点的速度，样品台自动化程度越高，效率越高。计算机导航坐标定位马达驱动系统要优于单纯的马达驱动，马达驱动要优于手动。对于样品全面分析检测，统计特征点，自动台体现高效率。当然如果您的样品放进去，只是选择一两个区域来照相，自动台意义不大。
2、高质量图像获得的效率：电子光学系统的自动化，或者更高的性能来提高效率。如热场发射扫描电镜看2万倍，可以在2TV扫描速度下，清晰成像，而钨灯丝大型扫描电镜看2万倍图像，要清晰成像，光保存一帧图像需要20秒以上，还不要说调整电子光学参数的功夫，如果不明就里，拿过来两个图像来比较，可能很难分出伯仲，因此有的人会说，在2万倍水平上，钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜区别不大，这个前提就是忽略客户的效率需求，比如工厂做晶圆上的芯片检测，这里边就有了效率需要，虽然一般检测可能只看2万倍，但对效率提出很苛刻的要求，钨灯丝根本不能胜任。
3、系统真空获得的效率：涡轮分子泵相对扩散泵具有明显优势。
3.1、众所周知，涡轮分子泵可随时开关机，油扩散泵开关机受到泵油升温和冷却的限制（开关机一个来回至少要等50分钟），因此要么就开一天，要么一开就至少半天，半天如果只需要做一个小样，照一张照片，那效率就更低了；除非扩散泵长期不关机，例如2-3个月，真空泵总保持启动，那么效率还是很高的，这需要特殊照顾。
3.2、真空洁净度对效率影响：涡轮分子泵真空洁净度远远优于油扩散泵。泵油蒸汽分子，在电子束作用下分解为碳氢化物，污染样品和末级光阑。电子束扫描样品时，会被电子束诱导沉积到正在观察的样品区域表面，越高倍，沉积速度越快，污染降低se产额，从而降低成像分辨率；末级光阑在电子束作用下，最容易沉积污染物，污染的随机变化，在高倍引起的象散需要随时进行校正。往往高倍需要逐级消象散，在一个区域调节电镜参数到最佳，然后迅速电位移到就近区域扫描存储图像，这降低操作效率
3.3、也同样是污染的原因，扩散泵真空系统扫描电镜需要的维护周期要短得多，一般建议3个月维护一次，而同样工作条件，涡轮分子泵真空系统的一般建议是1年维护一次。
综上所述：在一次操作周期内对效率影响最大的因素，自动化程度越高，效率越高。应该是样品台的自动化程度和真空洁净程度；电子光学性能需要定位，5000倍以下，不明显，5000倍以上就显示高分辨和自动化的优势。
通过以上简单分析，对CX-200系列型号作如下推荐，原则是不至于让您感到特别疲倦，让您专注于材料的特征观察分析。
1、如果您有大量的样品要做，但要求管理维护简单方便，应该选择最高效率的CX-200TA型，
2、如果您有大量的样品要做，同时可以接受较短的维护周期，可以选择CX-200DA型
3、如果您的样品量不算大，但随时想看，又不希望花过大精力照顾扫描电镜，请选择 CX-200TM型
4、如果您的样品量不算大，可以安排专门操作人员“照顾”扫描电镜，可以选择更加经济的CX-200DM型
二、CX-200系列扫描电镜主要功能特点：
CX-200系列中档分析型扫描电镜的卓越配置
硬件使用包括：顶级水平的电子光学系统，中型样品分析室，五轴精密或者超级精密机械对中样品台，高速涡轮分子泵真空系统或者高速油扩散泵真空系统，最先进的SMT电路板制作工艺全数字化电器设备。
计算机及操作软件使用最新的CX-200纳米工作站，轻爽操作体验。
2、如果您有大量的样品要做，同时可以接受较短的维护周期，可以选择CX-200DA型
3、如果您的样品量不算大，但随时想看，又不希望花过大精力照顾扫描电镜，请选择 CX-200TM型
4、如果您的样品量不算大，可以安排专门操作人员“照顾”扫描电镜，可以选择更加经济的CX-200DM型
二、CX-200系列扫描电镜主要功能特点：
CX-200系列中档分析型扫描电镜的卓越配置
硬件使用包括：顶级水平的电子光学系统，中型样品分析室，五轴精密或者超级精密机械对中样品台，高速涡轮分子泵真空系统或者高速油扩散泵真空系统，最先进的SMT电路板制作工艺全数字化电器设备。
计算机及操作软件使用最新的CX-200纳米工作站，轻爽操作体验。
2.1、可实现功能：标配SE形貌像，可选配 BSE探测器成像，WDS, EDS微区元素分析，+CCD样品室监控
2.2、基本性能特点
2.2、基本性能特点
(1)、分辨率（ 3.0nm@ 30kv ，10nm@ 3kv），锥形物镜，长焦性能优越。
(2)、中型样品室内部尺寸直径为210mm，可同时接配多种探测器；
五轴精密机械对中样品台，自动或者手动控制。自动台计算机导航控制，步进电机驱动精度19nm/步，Point & Go操作，具有坐标定位系统，点击临时存储的图像，样品上的该位置能够自动返回扫描视野中心；样品上的z轴调节范围5-65mm，实现对大型样品，和很大高度梯度样品的灵活操纵，使用自动台，用户可以实现对样品更快速的评估和测量。
(3)、真空系统为涡轮分子泵真空系统，高效清洁节能； 或者更具经济性的扩散泵真空系统。
(4)、最新最先进制作工艺的全数字化电器控制系统，与主机集成为一体，结构紧凑，稳定可靠，与计算机通讯采用USB/PCI接口。整机可轻松在很大范围内移动。
(5)、数字化扫描系统，实现从实时基于电视扫描高速模式到高分辨图像模式，这相对CX-100有了显著提高。在照相模式下，具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。给您提供最好的视觉质量。
(6)、自动控制:自动电子枪最大亮度，自动聚焦，自动消象散，自动亮度对比度控制，自动电子束对中，自动电子枪加饱和，自动偏压，物镜光阑自动摇摆对中合轴，增加了倾斜补偿和自动聚焦功能。具有这些功能，用户将能够更轻松操作仪器。
(7)、GUI操作软件：多种快捷按钮，操作简单方便，同时允许用户自定义热键，允许更高效的操作；图像灰度直方图实时显示，可以帮助用户保持最佳的图像质量；双图像显示，允许用户轻松比较不同图像的差别；产品能够使用MS-Office软件生成报告，允许用户创建数据。
(4)、最新最先进制作工艺的全数字化电器控制系统，与主机集成为一体，结构紧凑，稳定可靠，与计算机通讯采用USB/PCI接口。整机可轻松在很大范围内移动。
(5)、数字化扫描系统，实现从实时基于电视扫描高速模式到高分辨图像模式，这相对CX-100有了显著提高。在照相模式下，具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。给您提供最好的视觉质量。
(6)、自动控制:自动电子枪最大亮度，自动聚焦，自动消象散，自动亮度对比度控制，自动电子束对中，自动电子枪加饱和，自动偏压，物镜光阑自动摇摆对中合轴，增加了倾斜补偿和自动聚焦功能。具有这些功能，用户将能够更轻松操作仪器。
(7)、GUI操作软件：多种快捷按钮，操作简单方便，同时允许用户自定义热键，允许更高效的操作；图像灰度直方图实时显示，可以帮助用户保持最佳的图像质量；双图像显示，允许用户轻松比较不同图像的差别；产品能够使用MS-Office软件生成报告，允许用户创建数据。
纳米工作站提供客户，从实时基于电视扫描高速模式到高分辨图像模式，这相对CX-100有了显著提高。在照相模式下，具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。给您提供最好的视觉质量。
2、自动控制
纳米工作站具有，灯丝自动加饱和、自动亮度对比度、自动聚焦、自动消象散、自动电子枪对中等功能。具有这些功能，用户将能够更轻松操作仪器。
3、自动样品台
当使用CX-200纳米工作站和自动样品台，这个扫描电镜将是全自动的扫描电镜。
Point & Go 鼠标点击图像，样品移动
纳米工作站可使用Point&Go功能控制样品移动到用户想到达的位置，从而用户可以更快速的评估和测量。（图像中心坐标位置存储在图像中）
4、灰度直方图Histogram
纳米工作站提供实时的图像灰度直方图均衡，可以帮助用户改善图像质量。
5、使用热键和生成报告
纳米工作站具有用户自定义热键，使用这个项目，允许用户更高效操作。同时，产品能够使用MS-Office软件生成报告，允许用户创建数据。
6、双图像显示 Dual Mode Image
纳米工作站有两个显示屏，用户可以同时观察两幅图像（如不同部位的图像，或者双信 号图像）。允许用户轻松比较不同图像的差别。