产品描述：

硅片厚度数据的管理方法
1、数据收集功能（选配）
用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。
2、打印功能
在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。
·特长
适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更换规格时（更换档位销）
用提升杠杆发打印输出指令（给打印机或PC）

技术参数：

型号		6英寸用	8英寸用	12英寸用
商品编号		09002501	09002505	090025011
精度 （温度20℃±1℃）		累积指示误差±0．15μm        行程3 mm以内       重复精度0．2μm（20）
测量部	传感器	PH-01
	测力	1．2～2N/0～5 mm
	硅片直径	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″
	收张行程	5mm	5 mm	5mm
	尺寸	160(W)×175(D)×185(H)mm	200(W) ×210(D)×185(H)mm	300(W) ×291(D)×185(H)mm
显示部件	形式	DH-151
	显示部	绿色荧光显示管
	显示位数	7位及［—］号
	最小显示量	0．0001 mm （ 0．1μm）
	尺寸重量	278(W) ×300(D)×81(H)mm,     约2．7kg
	电源	AC85～250V，  50/60HZ,   10VA
	电源电缆	3m  AC可分析

技术文档：

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